1、水冷裝置
　　真空熱處理爐各個部件要根據(jù)其性來設(shè)置水冷裝置，比如密封圈的不過熱不燒毀部件不變形等。這樣才能保證真空熱處理爐能正常運行。
　　2、隔熱材料的問題
　　真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料，其他材料易氧化。使用前要了解爐膛的材料在進行實驗
　　3、低電壓大電流
　　在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托l(wèi)xlo-1托的范圍內(nèi)時，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴(yán)重的會產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，般都不超過80100伏。同時在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計時要采取有措施，如盡量避免有尖銳的部件，電間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。