操作步驟如下：先羅茨泵啟動(dòng)，打開前閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動(dòng)機(jī)械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時(shí)，啟動(dòng)預(yù)熱擴(kuò)散泵，主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前泵機(jī)組對擴(kuò)散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管測量擴(kuò)散泵前真空度高于規(guī)定值時(shí)，打開預(yù)抽爐內(nèi)真空，先關(guān)前閥，并停羅茨泵，稍后找開預(yù)抽閥對爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時(shí)，再啟動(dòng)羅茨泵，前泵機(jī)組對爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度。